Optimization of a DC-RF hybrid plasma flow system for particle processing

• Material Type: 博士論文
• Title: Optimization of a DC-RF hybrid plasma flow system for particle processing
• Author/Editor: Kotaro Kawajiri [著]
• Author Heading: 河尻, 耕太郎 カワジリ, コウタロウ
• Publication, Distribution, etc.: [Kotaro Kawajiri]
• Publication Date: 2005
• Publication Date (W3CDTF): 2005
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 微粒子プロセス用DC-RFハイブリッドプラズマ流動システムの最適化 ビリュウシ プロセスヨウ DC-RF ハイブリッド プラズマ リュウドウ システム ノ サイテキカ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成17年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2005
• Dissertation Number: 甲第10231号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2005-G382
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007894525; http://id.ndl.go.jp/bib/000007894525
• Bibliographic Record Category (NDL): 213