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博士論文
90nm対応高効率フォトリソグラフィ技術の開発と実用化
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90nm対応高効率フォトリソグラフィ技術の開発と実用化
国立国会図書館請求記号
UT51-2005-G446
国立国会図書館書誌ID
000007894617
資料種別
博士論文
著者
加藤毅 [著]
出版者
[加藤毅]
出版年
[2005]
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東北大学,博士 (工学)
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一般注記:
博士論文
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書誌情報を出力
紙
資料種別
博士論文
タイトル
90nm対応高効率フォトリソグラフィ技術の開発と実用化
タイトルよみ
90nm タイオウ コウコウリツ フォトリソグラフィ ギジュツ ノ カイハツ ト ジツヨウカ
著者・編者
加藤毅 [著]
著者標目
加藤, 毅
カトウ, タケシ
出版事項
[加藤毅]
出版年月日等
[2005]
出版年(W3CDTF)
2005
数量
1冊
授与機関名
東北大学
授与年月日
平成17年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
2005
報告番号
甲第10295号
学位
博士 (工学)
学位論文注記
博士論文
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
NDLC
UT51
一般注記
博士論文
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
UT51-2005-G446
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007894617
http://id.ndl.go.jp/bib/000007894617
整理区分コード
213
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