単結晶シリコンインゴットの高能率・高品位マルチ放電スライシング法

• 資料種別: 図書
• タイトル: 単結晶シリコンインゴットの高能率・高品位マルチ放電スライシング法
• タイトルよみ: タンケッショウ シリコン インゴット ノ コウノウリツ コウヒンイ マルチ ホウデン スライシングホウ
• 著者・編者: 宇野義幸, 岡山大学 [著]
• 著者標目: 宇野, 義幸 ウノ, ヨシユキ; 岡山大学 オカヤマ ダイガク
• 出版事項: [宇野義幸]
• 出版年月日等: 2002-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2004
• 数量: 43枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ワイヤ放電加工 / 単結晶シリコンインゴット / スライシング ワイヤ ホウデン カコウ / タンケッショウ シリコンインゴット / スライシング
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14350073
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14350073
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007915716; http://id.ndl.go.jp/bib/000007915716
• 整理区分コード: 214