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単結晶シリコンインゴットの高能率・高品位マルチ放電スライシング法

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単結晶シリコンインゴットの高能率・高品位マルチ放電スライシング法

Call No. (NDL)
Y151-H14350073
Bibliographic ID of National Diet Library
000007915716
Material type
図書
Author
宇野義幸, 岡山大学 [著]
Publisher
[宇野義幸]
Publication date
2002-2004
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
43枚
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タンケッショウ シリコン インゴット ノ コウノウリツ コウヒンイ マルチ ホウデン スライシングホウ
Author/Editor
宇野義幸, 岡山大学 [著]
Author Heading
宇野, 義幸 ウノ, ヨシユキ
岡山大学 オカヤマ ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF)
2002
2004
Extent
43枚
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)