2003 8th international symposium on plasma- and process-induced damage : April 24-25, 2003 : Corbeil-Essonnes, France. : Apr 2003, Corbeil-Essonnes, France.

• 資料種別: 図書
• ISBN: 0780377478 (softbound ed.)
• タイトル: 2003 8th international symposium on plasma- and process-induced damage : April 24-25, 2003 : Corbeil-Essonnes, France. : Apr 2003, Corbeil-Essonnes, France.
• 著者標目: Eriguchi, Koji.; Kishnan, S.; Hook, Terence.; International Symposium on Plasma Process-Induced Damage (8th : 2003 : Corbeil-Essonnes, France)
• 出版事項: Piscataway : IEEE
• 出版年月日等: c2003.
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: 189 p. : ill. ; 28 cm.
• 並列タイトル等: P2ID : international symposium on plasma- & process-induced damage : April 24-25, 2003 : Altis Semiconductor : Corbeil-Essonnes, France
• 出版地（国名コード）: US
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Semiconductor wafers -- Congresses.; Semiconductors -- Effect of radiation on -- Congresses.; Plasma radiation -- Congresses.
• NDLC: M17
• 一般注記: Papers.; IEEE cat no 03TH8669.
• 書誌注記: Includes bibliographical references.
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: M17-05-2180
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007917575; http://id.ndl.go.jp/bib/000007917575
• LC control number: 2002116918; https://lccn.loc.gov/2002116918
• RLIN番号: MOHG52192967-B
• 整理区分コード: 215