フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究
• タイトルよみ: フロロカーボン ブンシ ノ ヒョウメン ハンノウ カテイ ト シンキ エッチング プロセス ノ キソ ケンキュウ
• 著者・編者: 豊田浩孝, 名古屋大学 [著]
• 著者標目: 豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ; 名古屋大学 ナゴヤ ダイガク
• 出版事項: [豊田浩孝]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 37p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: フロロカーボン / 選択エッチング / 酸化シリコン / ビーム実験 フロロカーボン / センタク エッチング / サンカ シリコン / ビーム ジッケン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15540474
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15540474
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007930752; http://id.ndl.go.jp/bib/000007930752
• 整理区分コード: 214