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フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究

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フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H15540474
国立国会図書館書誌ID
000007930752
資料種別
図書
著者
豊田浩孝, 名古屋大学 [著]
出版者
[豊田浩孝]
出版年
2003-2004
資料形態
ページ数・大きさ等
37p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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資料種別
図書
タイトルよみ
フロロカーボン ブンシ ノ ヒョウメン ハンノウ カテイ ト シンキ エッチング プロセス ノ キソ ケンキュウ
著者・編者
豊田浩孝, 名古屋大学 [著]
著者標目
豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ
名古屋大学 ナゴヤ ダイガク
出版事項
出版年月日等
2003-2004
2005.3
出版年(W3CDTF)
2003
2004
数量
37p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)