フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究

• Material Type: 図書
• Title: フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究
• Title Transcription: フロロカーボン ブンシ ノ ヒョウメン ハンノウ カテイ ト シンキ エッチング プロセス ノ キソ ケンキュウ
• Author/Editor: 豊田浩孝, 名古屋大学 [著]
• Author Heading: 豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ; 名古屋大学 ナゴヤ ダイガク
• Publication, Distribution, etc.: [豊田浩孝]
• Publication Date: 2003-2004; 2005.3
• Publication Date (W3CDTF): 2003; 2004
• Extent: 37p
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn; eng
• Subject Heading: フロロカーボン / 選択エッチング / 酸化シリコン / ビーム実験 フロロカーボン / センタク エッチング / サンカ シリコン / ビーム ジッケン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15540474
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H15540474
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007930752; http://id.ndl.go.jp/bib/000007930752
• Bibliographic Record Category (NDL): 214