フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究

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Material Type: 図書
Title: フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究
Title Transcription: フロロカーボンブンシノヒョウメンハンノウカテイトシンキエッチングプロセスノキソケンキュウ
Author/Editor: 豊田浩孝, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 豊田, 浩孝トヨダ, ヒロタカ
名古屋大学ナゴヤダイガク
Publication, Distribution, etc.: [豊田浩孝]
Publication Date: 2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 37p
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: フロロカーボン / 選択エッチング / 酸化シリコン / ビーム実験フロロカーボン / センタクエッチング / サンカシリコン / ビームジッケン
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15540474
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15540474
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007930752
http://id.ndl.go.jp/bib/000007930752
Bibliographic Record Category (NDL): 214