Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発
• タイトルよみ: Walking Drive オ リヨウシタ コウシンクウ タイオウ チョウセイミツ アライメント ソウチ ノ カイハツ
• 著者・編者: 社本英二, 名古屋大学 [著]
• 著者標目: 社本, 英二 シャモト, エイジ; 名古屋大学 ナゴヤ ダイガク
• 出版事項: [社本英二]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.4
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 88枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 超機密アライメント装置 / 半導体製造装置 / 圧電素子 / XYθテーブル / 位置決め装置 / 真空 チョウキミツ アライメント ソウチ / ハンドウタイ セイゾウ ソウチ / アツデン ソシ / XYth テーブル / イチギメ ソウチ / シンクウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15360069
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15360069
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007930784; http://id.ndl.go.jp/bib/000007930784
• 整理区分コード: 214