Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 図書
Title: Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発
Title Transcription: Walking Drive オリヨウシタコウシンクウタイオウチョウセイミツアライメントソウチノカイハツ
Author/Editor: 社本英二, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 社本, 英二シャモト, エイジ
名古屋大学ナゴヤダイガク
Publication, Distribution, etc.: [社本英二]
Publication Date: 2003-2004
2005.4
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 88枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 超機密アライメント装置 / 半導体製造装置 / 圧電素子 / XYθテーブル / 位置決め装置 / 真空チョウキミツアライメントソウチ / ハンドウタイセイゾウソウチ / アツデンソシ / XYth テーブル / イチギメソウチ / シンクウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360069
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360069
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007930784
http://id.ndl.go.jp/bib/000007930784
Bibliographic Record Category (NDL): 214