単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明

• 資料種別: 図書
• タイトル: 単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明
• タイトルよみ: タンイツ デンシ トラップ チョクシ ギジュツ ノ カイハツ ト ソレ オ モチイタ ゴクウス ゲート ゼツエンマク ノ レッカ キコウ ノ カイメイ
• 著者・編者: 近藤博基, 安田幸夫, 名古屋大学 [著]
• 著者標目: 近藤, 博基 コンドウ, ヒロキ; 安田, 幸夫 ヤスダ, ユキオ; 名古屋大学 ナゴヤ ダイガク
• 出版事項: [近藤博基]
• 出版年月日等: 2001-2004; 2005.4
• 出版年（W3CDTF）: 2001; 2004
• 数量: 98p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 電流検出型原子間力顕微鏡 / MOSキャパシタ / ゲートSiO_2膜 / ストレス誘起欠陥 / 絶縁破壊 デンリュウ ケンシュツガタ ゲンシ カンリョク ケンビキョウ / MOS キャパシタ / ゲート SiO_2 マク / ストレス ユウキ ケッカン / ゼツエン ハカイ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 13305005
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H13305005
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007930797; http://id.ndl.go.jp/bib/000007930797
• 整理区分コード: 214