単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明

Call No. (NDL): Y151-H13305005
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007930797

Material type: 図書

Author: 近藤博基, 安田幸夫, 名古屋大学 [著]

Publisher: [近藤博基]

Publication date: 2001-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 98p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 単一電子トラップ直視技術の開発とそれを用いた極薄ゲート絶縁膜の劣化機構の解明
Title Transcription: タンイツデンシトラップチョクシギジュツノカイハツトソレオモチイタゴクウスゲートゼツエンマクノレッカキコウノカイメイ
Author/Editor: 近藤博基, 安田幸夫, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 近藤, 博基コンドウ, ヒロキ
安田, 幸夫ヤスダ, ユキオ
名古屋大学ナゴヤダイガク
Publication, Distribution, etc.: [近藤博基]
Publication Date: 2001-2004
2005.4
Publication Date (W3CDTF): 2001
2004
Extent: 98p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 電流検出型原子間力顕微鏡 / MOSキャパシタ / ゲートSiO_2膜 / ストレス誘起欠陥 / 絶縁破壊デンリュウケンシュツガタゲンシカンリョクケンビキョウ / MOS キャパシタ / ゲート SiO_2 マク / ストレスユウキケッカン / ゼツエンハカイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 13305005
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H13305005
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007930797
http://id.ndl.go.jp/bib/000007930797
Bibliographic Record Category (NDL): 214