マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究

国立国会図書館請求記号: Y151-H14205016
国立国会図書館書誌ID: 000007930895

資料種別: 図書

著者: 佐藤一雄, 名古屋大学 [著]

出版者: [佐藤一雄]

出版年: 2002-2004

資料形態: 紙

ページ数・大きさ等: 182p

NDC: -

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資料に関する注記

一般注記：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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紙

資料種別: 図書
タイトル: マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究
タイトルよみ: マイクロメゾリョウイキオトウゴウシタケッショウイホウセイエッチングメカニズムノケンキュウ
著者・編者: 佐藤一雄, 名古屋大学 [著]
著者標目: 佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )典拠
名古屋大学ナゴヤダイガク ( 00260057 )典拠
出版事項: [佐藤一雄]
出版年月日等: 2002-2004
2005.3
出版年（W3CDTF）: 2002
2004
数量: 182p
その他のタイトル: 研究種目基盤研究(A)
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
eng
件名標目: 結晶異方性エッチング / シリコン / 水晶 / KOH / TMAH / エッチングメカニズム / 表面モフォロジー / シミュレーションケッショウイカタセイエッチング / シリコン / スイショウ / KOH / TMAH / エッチングメカニズム / ヒョウメンモフォロジー / シミュレーション
NDLC: Y151
一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号: 14205016
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Y151-H14205016
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000007930895
http://id.ndl.go.jp/bib/000007930895
整理区分コード: 214