マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究

Call No. (NDL): Y151-H14205016
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007930895

Material type: 図書

Author: 佐藤一雄, 名古屋大学 [著]

Publisher: [佐藤一雄]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 182p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究
Title Transcription: マイクロメゾリョウイキオトウゴウシタケッショウイホウセイエッチングメカニズムノケンキュウ
Author/Editor: 佐藤一雄, 名古屋大学 [著]
Author Heading: 佐藤, 一雄, 1948- サトウ, カズオ, 1948- ( 00865926 )Authorities
名古屋大学ナゴヤダイガク ( 00260057 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [佐藤一雄]
Publication Date: 2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 182p
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 結晶異方性エッチング / シリコン / 水晶 / KOH / TMAH / エッチングメカニズム / 表面モフォロジー / シミュレーションケッショウイカタセイエッチング / シリコン / スイショウ / KOH / TMAH / エッチングメカニズム / ヒョウメンモフォロジー / シミュレーション
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14205016
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14205016
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007930895
http://id.ndl.go.jp/bib/000007930895
Bibliographic Record Category (NDL): 214