半導体材料切断用マルチワイヤソーにおける加工中のスラリー挙動と最適加工条件の構築

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体材料切断用マルチワイヤソーにおける加工中のスラリー挙動と最適加工条件の構築
• タイトルよみ: ハンドウタイ ザイリョウ セツダンヨウ マルチワイヤソー ニ オケル カコウチュウ ノ スラリー キョドウ ト サイテキ カコウ ジョウケン ノ コウチク
• 著者・編者: 石川憲一, 金沢工業大学 [著]
• 著者標目: 石川, 憲一, 1943- イシカワ, ケンイチ, 1943- ( 00190722 )典拠; 金沢工業大学 カナザワ コウギョウ ダイガク ( 00286144 )典拠
• 出版事項: [石川憲一]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.6
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 94枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: スライシング / マルチワイヤソー / スラリー / スラリー挙動 スライシング / マルチワイヤソー / スラリー / スラリー キョドウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15560104
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15560104
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007944621; http://id.ndl.go.jp/bib/000007944621
• 整理区分コード: 214