エアブリッジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長

• 資料種別: 図書
• タイトル: エアブリッジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長
• タイトルよみ: エア ブリッジ コウゾウ オ モチイタ フリー スタンデイング 3C-SiC ノ ケッショウ セイチョウ
• 著者・編者: 西野茂弘, 京都工芸繊維大学 [著]
• 著者標目: 西野, 茂弘 ニシノ, シゲヒロ; 京都工芸繊維大学 キョウト コウゲイ センイ ダイガク
• 出版事項: [西野茂弘]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 89枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 3C-SiC / 立方晶SiC / ヘテロエピタキシャル成長 / 横方向成長 / 単結晶薄膜成長 / シリコンカーバイト / 気相成長 / CVD法 3C-SiC / リッポウショウ SiC / ヘテロエピタキシャル セイチョウ / ヨコホウコウ セイチョウ / タンケッショウ ハクマク セイチョウ / シリコンカーバイト / キソウ セイチョウ / CVD ホウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15360010
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15360010
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007955363; http://id.ndl.go.jp/bib/000007955363
• 整理区分コード: 214