エアブリッジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長

Call No. (NDL): Y151-H15360010
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007955363

Material type: 図書

Author: 西野茂弘, 京都工芸繊維大学 [著]

Publisher: [西野茂弘]

Publication date: 2003-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 89枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: エアブリッジ構造を用いたフリースタンデイング3C-SiCの結晶成長
Title Transcription: エアブリッジコウゾウオモチイタフリースタンデイング 3C-SiC ノケッショウセイチョウ
Author/Editor: 西野茂弘, 京都工芸繊維大学 [著]
Author Heading: 西野, 茂弘ニシノ, シゲヒロ
京都工芸繊維大学キョウトコウゲイセンイダイガク
Publication, Distribution, etc.: [西野茂弘]
Publication Date: 2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 89枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 3C-SiC / 立方晶SiC / ヘテロエピタキシャル成長 / 横方向成長 / 単結晶薄膜成長 / シリコンカーバイト / 気相成長 / CVD法 3C-SiC / リッポウショウ SiC / ヘテロエピタキシャルセイチョウ / ヨコホウコウセイチョウ / タンケッショウハクマクセイチョウ / シリコンカーバイト / キソウセイチョウ / CVD ホウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360010
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360010
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007955363
http://id.ndl.go.jp/bib/000007955363
Bibliographic Record Category (NDL): 214