ナノヒートスポットによる低コスト・高速・大面積の微細加工法の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: ナノヒートスポットによる低コスト・高速・大面積の微細加工法の研究
• タイトルよみ: ナノヒート スポット ニ ヨル テイコスト コウソク ダイメンセキ ノ ビサイ カコウホウ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 桑原正史, 産業技術総合研究所 [著]
• 著者標目: 桑原, 正史 クワハラ, マサシ; 産業技術総合研究所 サンギョウ ギジュツ ソウゴウ ケンキュウジョ
• 出版事項: [桑原正史]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.6
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 54p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 超高密光ディスク / 熱リソグラフィ / 光ディスク原盤 / ZnS-SiO_2 / TbFeCo / ガウス分布 チョウコウミツヒカリディスク / ネツ リソグラフィ / ヒカリディスク ゲンバン / ZnS-SiO_2 / TbFeCo / ガウス ブンプ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15360396
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15360396
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007956181; http://id.ndl.go.jp/bib/000007956181
• 整理区分コード: 214