ナノヒートスポットによる低コスト・高速・大面積の微細加工法の研究

Call No. (NDL): Y151-H15360396
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007956181

Material type: 図書

Author: 桑原正史, 産業技術総合研究所 [著]

Publisher: [桑原正史]

Publication date: 2003-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 54p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: ナノヒートスポットによる低コスト・高速・大面積の微細加工法の研究
Title Transcription: ナノヒートスポットニヨルテイコストコウソクダイメンセキノビサイカコウホウノケンキュウ
Author/Editor: 桑原正史, 産業技術総合研究所 [著]
Author Heading: 桑原, 正史クワハラ, マサシ
産業技術総合研究所サンギョウギジュツソウゴウケンキュウジョ
Publication, Distribution, etc.: [桑原正史]
Publication Date: 2003-2004
2005.6
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 54p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 超高密光ディスク / 熱リソグラフィ / 光ディスク原盤 / ZnS-SiO_2 / TbFeCo / ガウス分布チョウコウミツヒカリディスク / ネツリソグラフィ / ヒカリディスクゲンバン / ZnS-SiO_2 / TbFeCo / ガウスブンプ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360396
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360396
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007956181
http://id.ndl.go.jp/bib/000007956181
Bibliographic Record Category (NDL): 214