機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
- 国立国会図書館請求記号
- ND371-H105
- 国立国会図書館書誌ID
- 000007963544
資料詳細
要約等：
- 物理・化学の基本原理をわかりやすく解説（提供元: 出版情報登録センター（JPRO））
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目次
第1章 超微細加工技術とは
第2章 真空と気体分子運動論
第3章 プラズマの基礎
第4章 物理蒸着法（PVD）
第5章 薄膜の形成過程
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北日本
山形県立図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-ｺﾝ
- 図書登録番号：
- 106366211
関東
さいたま市立中央図書館
紙- 請求記号：
- 549.8 ｺﾝ
- 図書登録番号：
- 01100142767
千葉県立西部図書館
紙- 請求記号：
- 5498/ 135/
- 図書登録番号：
- 1101971940
東京都立中央図書館
紙- 請求記号：
- 549.8-5070-2005
- 図書登録番号：
- 5011814535
神奈川県立川崎図書館
紙- 請求記号：
- 532-106
- 図書登録番号：
- 81153652
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