機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
機械・材料系のためのマイクロ・ナノ加工の原理
- Call No. (NDL)
- ND371-H105
- Bibliographic ID of National Diet Library
- 000007963544
Detailed bibliographic record
Summary, etc.：
- 物理・化学の基本原理をわかりやすく解説(Provided by: 出版情報登録センター（JPRO）)
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Table of Contents
第1章 超微細加工技術とは
第2章 真空と気体分子運動論
第3章 プラズマの基礎
第4章 物理蒸着法（PVD）
第5章 薄膜の形成過程
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山形県立図書館
Paper- Call No.：
- 549.8-ｺﾝ
- Book Registration Number：
- 106366211
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さいたま市立中央図書館
Paper- Call No.：
- 549.8 ｺﾝ
- Book Registration Number：
- 01100142767
千葉県立西部図書館
Paper- Call No.：
- 5498/ 135/
- Book Registration Number：
- 1101971940
東京都立中央図書館
Paper- Call No.：
- 549.8-5070-2005
- Book Registration Number：
- 5011814535
神奈川県立川崎図書館
Paper- Call No.：
- 532-106
- Book Registration Number：
- 81153652
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- Material Type
- 図書
- ISBN
- 4-320-08154-4
- Title Transcription
- キカイ ザイリョウケイ ノ タメノ マイクロ ナノ カコウ ノ ゲンリ
- Author/Editor
- 近藤英一 著
- Author Heading
- 近藤, 英一 コンドウ, エイイチ ( 01016950 )Authorities
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- 2005.10
- Publication Date (W3CDTF)
- 2005
- Extent
- 226p