超LSI信頼性確保を目的とした微細金属薄膜配線の高密度電子流による断線故障予測法

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超LSI信頼性確保を目的とした微細金属薄膜配線の高密度電子流による断線故障予測法
• タイトルよみ: チョウLSI シンライセイ カクホ オ モクテキ ト シタ ビサイ キンゾク ハクマク ハイセン ノ コウミツド デンシリュウ ニ ヨル ダンセン コショウ ヨソクホウ
• 著者・編者: 笹川和彦, 弘前大学 [著]
• 著者標目: 笹川, 和彦 ササガワ, カズヒコ; 弘前大学 ヒロサキ ダイガク
• 出版事項: [笹川和彦]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 8, 62p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 電子パッケージ / エレクトロマイグレーション / 金属薄膜配線 / 断線故障 / バンブー配線 / 保護膜 / 数直シミュレーション / 支配パラメータ デンシ パッケージ / エレクトロマイグレーション / キンゾク ハクマク ハイセン / ダンセン コショウ / バンブー ハイセン / ホゴマク / スウチョクシミュレーション / シハイ パラメータ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15560058
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15560058
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007966562; http://id.ndl.go.jp/bib/000007966562
• 整理区分コード: 214