マイクロ波プラズマ高品質ゲート絶縁膜を用いた超高耐圧SiC電力用トランジスタ

• 資料種別: 図書
• タイトル: マイクロ波プラズマ高品質ゲート絶縁膜を用いた超高耐圧SiC電力用トランジスタ
• タイトルよみ: マイクロハ プラズマ コウヒンシツ ゲート ゼツエンマク オ モチイタ チョウコウタイアツ SiC デンリョクヨウ トランジスタ
• 著者・編者: 寺本章伸, 東北大学 [著]
• 著者標目: 寺本, 章伸 テラモト, アキノブ; 東北大学 トウホク ダイガク
• 出版事項: [寺本章伸]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 142p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: マイクロ波励起プラズマ / シリコンカーバイト (SiC) / 絶縁膜 / MOS / 残留炭素 / 低温プロセス マイクロハレイキプラズマ / シリコンカーバイト (SiC) / ゼツエンマク / MOS / ザンリュウ タンソ / テイオン プロセス
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15360156
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15360156
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007973466; http://id.ndl.go.jp/bib/000007973466
• 整理区分コード: 214