マイクロ波プラズマ高品質ゲート絶縁膜を用いた超高耐圧SiC電力用トランジスタ

Call No. (NDL): Y151-H15360156
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007973466

Material type: 図書

Author: 寺本章伸, 東北大学 [著]

Publisher: [寺本章伸]

Publication date: 2003-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 142p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: マイクロ波プラズマ高品質ゲート絶縁膜を用いた超高耐圧SiC電力用トランジスタ
Title Transcription: マイクロハプラズマコウヒンシツゲートゼツエンマクオモチイタチョウコウタイアツ SiC デンリョクヨウトランジスタ
Author/Editor: 寺本章伸, 東北大学 [著]
Author Heading: 寺本, 章伸テラモト, アキノブ
東北大学トウホクダイガク
Publication, Distribution, etc.: [寺本章伸]
Publication Date: 2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 142p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: マイクロ波励起プラズマ / シリコンカーバイト (SiC) / 絶縁膜 / MOS / 残留炭素 / 低温プロセスマイクロハレイキプラズマ / シリコンカーバイト (SiC) / ゼツエンマク / MOS / ザンリュウタンソ / テイオンプロセス
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360156
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360156
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007973466
http://id.ndl.go.jp/bib/000007973466
Bibliographic Record Category (NDL): 214