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ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発

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ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発

国立国会図書館請求記号
Y151-H15360078
国立国会図書館書誌ID
000007973666
資料種別
図書
著者
足立幸志, 東北大学 [著]
出版者
[足立幸志]
出版年
2003-2004
資料形態
ページ数・大きさ等
163p
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ナノメートル イチギメ ノ タメノ マサツ クドウ キコウ ト インテリジェント リニア ガイド ノ カイハツ
著者・編者
足立幸志, 東北大学 [著]
著者標目
足立, 幸志 アダチ, コウシ
東北大学 トウホク ダイガク
出版事項
出版年月日等
2003-2004
2005.5
出版年(W3CDTF)
2003
2004
数量
163p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)