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ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発

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ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発

Call No. (NDL)
Y151-H15360078
Bibliographic ID of National Diet Library
000007973666
Material type
図書
Author
足立幸志, 東北大学 [著]
Publisher
[足立幸志]
Publication date
2003-2004
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
163p
NDC
-
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Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
ナノメートル位置決めのための摩擦駆動機構とインテリジェントリニアガイドの開発
Title Transcription
ナノメートル イチギメ ノ タメノ マサツ クドウ キコウ ト インテリジェント リニア ガイド ノ カイハツ
Author/Editor
足立幸志, 東北大学 [著]
Author Heading
足立, 幸志 アダチ, コウシ
東北大学 トウホク ダイガク
Publication, Distribution, etc.
[足立幸志]
Publication Date
2003-2004
2005.5
Publication Date (W3CDTF)
2003
2004
Extent
163p
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)