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図書
形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成
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形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成
国立国会図書館請求記号
Y151-H15360063
国立国会図書館書誌ID
000007973670
資料種別
図書
著者
高偉, 東北大学 [著]
出版者
[高偉]
出版年
2003-2004
資料形態
紙
ページ数・大きさ等
83p
NDC
-
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資料に関する注記
一般注記:
文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
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紙
資料種別
図書
タイトル
形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成
タイトルよみ
ケイジョウ ソクテイ キノウ オ モツ ナノ カコウ プローブ ニ ヨル ダイメンセキ 3ジゲン ビサイ ケイソク キジュンメン ノ コウセイド ソウセイ
著者・編者
高偉, 東北大学 [著]
著者標目
著者 :
高, 偉
コウ, イ (
01126349
)
典拠
東北大学
トウホク ダイガク (
00305371
)
典拠
出版事項
[高偉]
出版年月日等
2003-2004
2005.3
出版年(W3CDTF)
2003
2004
数量
83p
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(B)
出版地(国名コード)
JP
本文の言語コード
jpn
著者別名
Gao, Wei
件名標目
ナノ計測 / ナノ加工 / 微細形状 / 3次元 / 測定力 / 剛性 / 誤差 / 力センサ
ナノ ケイソク / ナノ カコウ / ビサイ ケイジョウ / 3 ジゲン / ソクテイリョク / ゴウセイ / ゴサ / チカラ センサ
NDLC
Y151
一般注記
文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
科研費課題番号
15360063
所蔵機関
国立国会図書館
請求記号
Y151-H15360063
連携機関・データベース
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID(NDLBibID)
000007973670
http://id.ndl.go.jp/bib/000007973670
整理区分コード
214
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