形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成

• 資料種別: 図書
• タイトル: 形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成
• タイトルよみ: ケイジョウ ソクテイ キノウ オ モツ ナノ カコウ プローブ ニ ヨル ダイメンセキ 3ジゲン ビサイ ケイソク キジュンメン ノ コウセイド ソウセイ
• 著者・編者: 高偉, 東北大学 [著]
• 著者標目: 著者 ： 高, 偉 コウ, イ ( 01126349 )典拠; 東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )典拠
• 出版事項: [高偉]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 83p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 著者別名: Gao, Wei
• 件名標目: ナノ計測 / ナノ加工 / 微細形状 / 3次元 / 測定力 / 剛性 / 誤差 / 力センサ ナノ ケイソク / ナノ カコウ / ビサイ ケイジョウ / 3 ジゲン / ソクテイリョク / ゴウセイ / ゴサ / チカラ センサ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15360063
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15360063
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007973670; http://id.ndl.go.jp/bib/000007973670
• 整理区分コード: 214