形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成

Call No. (NDL): Y151-H15360063
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007973670

Material type: 図書

Author: 高偉, 東北大学 [著]

Publisher: [高偉]

Publication date: 2003-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 83p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 形状測定機能を持つナノ加工プローブによる大面積3次元微細計測基準面の高精度創成
Title Transcription: ケイジョウソクテイキノウオモツナノカコウプローブニヨルダイメンセキ 3ジゲンビサイケイソクキジュンメンノコウセイドソウセイ
Author/Editor: 高偉, 東北大学 [著]
Author Heading: 著者：高, 偉コウ, イ ( 01126349 )Authorities
東北大学トウホクダイガク ( 00305371 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [高偉]
Publication Date: 2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 83p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Alias of Author: Gao, Wei
Subject Heading: ナノ計測 / ナノ加工 / 微細形状 / 3次元 / 測定力 / 剛性 / 誤差 / 力センサナノケイソク / ナノカコウ / ビサイケイジョウ / 3 ジゲン / ソクテイリョク / ゴウセイ / ゴサ / チカラセンサ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360063
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360063
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007973670
http://id.ndl.go.jp/bib/000007973670
Bibliographic Record Category (NDL): 214