炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性

• 資料種別: 図書
• タイトル: 炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性
• タイトルよみ: タンカ ケイソ ノ ECR プラズマ サンカ ニ ヨル シリコン ナノ リュウシ ブンサン ハクマク ノ サクセイ ト EL トクセイ
• 著者・編者: 後藤孝, 東北大学 [著]
• 著者標目: 著者 ： 後藤, 孝 ゴトウ, タカシ ( 001230235 )典拠; 東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )典拠
• 出版事項: [後藤孝]
• 出版年月日等: 2002-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2004
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn; eng
• 件名標目: 炭化ケイ素 / 電子サイクロトロン共鳴 / ECRプラズマ酸化 / シリコンナノ粒子 / 酸素分圧 / フォトルミネッセンス / SiO膜 / RFマグネトロンスパッタ タンカ ケイソ / デンシ サイクロトロン キョウメイ / ECR プラズマ サンカ / シリコンナノ リュウシ / サンソ ブンアツ / フォトルミネッセンス / SiO マク / RF マグネトロンスパッタ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14350346
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14350346
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007973681; http://id.ndl.go.jp/bib/000007973681
• 整理区分コード: 214