炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性

Call No. (NDL): Y151-H14350346
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007973681

Material type: 図書

Author: 後藤孝, 東北大学 [著]

Publisher: [後藤孝]

Publication date: 2002-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Material Type: 図書
Title: 炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性
Title Transcription: タンカケイソノ ECR プラズマサンカニヨルシリコンナノリュウシブンサンハクマクノサクセイト EL トクセイ
Author/Editor: 後藤孝, 東北大学 [著]
Author Heading: 著者：後藤, 孝ゴトウ, タカシ ( 001230235 )Authorities
東北大学トウホクダイガク ( 00305371 )Authorities
Publication, Distribution, etc.: [後藤孝]
Publication Date: 2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2002
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
eng
Subject Heading: 炭化ケイ素 / 電子サイクロトロン共鳴 / ECRプラズマ酸化 / シリコンナノ粒子 / 酸素分圧 / フォトルミネッセンス / SiO膜 / RFマグネトロンスパッタタンカケイソ / デンシサイクロトロンキョウメイ / ECR プラズマサンカ / シリコンナノリュウシ / サンソブンアツ / フォトルミネッセンス / SiO マク / RF マグネトロンスパッタ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350346
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350346
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007973681
http://id.ndl.go.jp/bib/000007973681
Bibliographic Record Category (NDL): 214