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炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性

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炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性

Call No. (NDL)
Y151-H14350346
Bibliographic ID of National Diet Library
000007973681
Material type
図書
Author
後藤孝, 東北大学 [著]
Publisher
[後藤孝]
Publication date
2002-2004
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性
Title Transcription
タンカ ケイソ ノ ECR プラズマ サンカ ニ ヨル シリコン ナノ リュウシ ブンサン ハクマク ノ サクセイ ト EL トクセイ
Author/Editor
後藤孝, 東北大学 [著]
Author Heading
著者 ： 後藤, 孝 ゴトウ, タカシ ( 001230235 )Authorities
東北大学 トウホク ダイガク ( 00305371 )Authorities
Publication, Distribution, etc.
[後藤孝]
Publication Date
2002-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF)
2002
2004
Extent
1冊
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)