化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明

• 資料種別: 図書
• タイトル: 化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明
• タイトルよみ: カガクテキ キカイ ケンマ CMP プロセス ニ オケル ケンマ リュウシ ギョウシュウタイ ノ アッシュク ズリ ヘンケイ キョドウ ノ カイメイ
• 著者・編者: 塚田隆夫, 東北大学 [著]
• 著者標目: 塚田, 隆夫 ツカダ, タカオ; 東北大学 トウホク ダイガク
• 出版事項: [塚田隆夫]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.3
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 36p
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 化学的機械研磨 / 微粒子凝集体 / 圧縮変形 / マイクロマニピュレータ / 数値シミュレーション カガクテキ キカイ ケンマ / ビリュウシ ギョウシュウタイ / アッシュク ヘンケイ / マイクロマニピュレータ / スウチ シミュレーション
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15360407
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15360407
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007974248; http://id.ndl.go.jp/bib/000007974248
• 整理区分コード: 214