化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明

Call No. (NDL): Y151-H15360407
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007974248

Material type: 図書

Author: 塚田隆夫, 東北大学 [著]

Publisher: [塚田隆夫]

Publication date: 2003-2004

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 36p

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 化学的機械研磨(CMP)プロセスにおける研磨粒子凝集体の圧縮・ずり変形挙動の解明
Title Transcription: カガクテキキカイケンマ CMP プロセスニオケルケンマリュウシギョウシュウタイノアッシュクズリヘンケイキョドウノカイメイ
Author/Editor: 塚田隆夫, 東北大学 [著]
Author Heading: 塚田, 隆夫ツカダ, タカオ
東北大学トウホクダイガク
Publication, Distribution, etc.: [塚田隆夫]
Publication Date: 2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 36p
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 化学的機械研磨 / 微粒子凝集体 / 圧縮変形 / マイクロマニピュレータ / 数値シミュレーションカガクテキキカイケンマ / ビリュウシギョウシュウタイ / アッシュクヘンケイ / マイクロマニピュレータ / スウチシミュレーション
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15360407
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15360407
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007974248
http://id.ndl.go.jp/bib/000007974248
Bibliographic Record Category (NDL): 214