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速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用

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速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用

国立国会図書館請求記号
Y151-H15560016
国立国会図書館書誌ID
000007975375
資料種別
図書
著者
羽多野忠, 東北大学 [著]
出版者
[羽多野忠]
出版年
2003-2004
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ソクド カヘン シャッター オ モチイタ ナンXセン タソウマク ノ セイミツ マクアツ ブンプ セイギョ ト ヒキュウメン ケイジョウ ソウセイ エノ オウヨウ
著者・編者
羽多野忠, 東北大学 [著]
著者標目
羽多野, 忠 ハタノ, タダシ
東北大学 トウホク ダイガク
出版事項
出版年月日等
2003-2004
2005.3
出版年(W3CDTF)
2003
2004
数量
1冊
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)