速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用

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Material Type: 図書
Title: 速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用
Title Transcription: ソクドカヘンシャッターオモチイタナンXセンタソウマクノセイミツマクアツブンプセイギョトヒキュウメンケイジョウソウセイエノオウヨウ
Author/Editor: 羽多野忠, 東北大学 [著]
Author Heading: 羽多野, 忠ハタノ, タダシ
東北大学トウホクダイガク
Publication, Distribution, etc.: [羽多野忠]
Publication Date: 2003-2004
2005.3
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: 多層膜 / イオンビームスパッタリング / 膜厚制御 / イオン銃タソウマク / イオンビームスパッタリング / マクアツセイギョ / イオンジュウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15560016
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15560016
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007975375
http://id.ndl.go.jp/bib/000007975375
Bibliographic Record Category (NDL): 214