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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- テイエネルギー イオン ショウシャ ニ ヨル ハクマク ノ カイシツ ト ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 佐々木智憲 [著]
- 著者標目
- 佐々木, 智憲 ササキ, トモノリ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2005
- 出版年（W3CDTF）
- 2005
- 数量
- 1冊
- 並列タイトル等
- Improvement of the mechanical properties of metal thin films using very low energy argon ion irradiation and the development of its evaluation method