半導体ウエハ表面・内部のナノメータ不純物・結晶空洞自動計測装置の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体ウエハ表面・内部のナノメータ不純物・結晶空洞自動計測装置の開発
• タイトルよみ: ハンドウタイ ウエハ ヒョウメン ナイブ ノ ナノメータ フジュンブツ ケッショウ クウドウ ジドウ ケイソク ソウチ ノ カイハツ
• 著者・編者: 秋山伸幸, 長岡技術科学大学 [著]
• 著者標目: 秋山, 伸幸 アキヤマ, ノブユキ; 長岡技術科学大学 ナガオカ ギジュツ カガク ダイガク
• 出版事項: [秋山伸幸]
• 出版年月日等: 2002-2003; 2004.7
• 出版年（W3CDTF）: 2002; 2003
• 数量: 57枚
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(B)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ナノメータ不純物検出 / 結晶空洞検出 / 半導体ウエハ表面検査 / COP検出 / インライン自動検査装置 ナノメータ フジュンブツ ケンシュツ / ケッショウ クウドウ ケンシュツ / ハンドウタイ ウエハ ヒョウメン ケンサ / COP ケンシュツ / インライン ジドウ ケンサ ソウチ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 14350217
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H14350217
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007990934; http://id.ndl.go.jp/bib/000007990934
• 整理区分コード: 214