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半導体ウエハ表面・内部のナノメータ不純物・結晶空洞自動計測装置の開発

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半導体ウエハ表面・内部のナノメータ不純物・結晶空洞自動計測装置の開発

Call No. (NDL)
Y151-H14350217
Bibliographic ID of National Diet Library
000007990934
Material type
図書
Author
秋山伸幸, 長岡技術科学大学 [著]
Publisher
[秋山伸幸]
Publication date
2002-2003
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
57枚
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハンドウタイ ウエハ ヒョウメン ナイブ ノ ナノメータ フジュンブツ ケッショウ クウドウ ジドウ ケイソク ソウチ ノ カイハツ
Author/Editor
秋山伸幸, 長岡技術科学大学 [著]
Author Heading
秋山, 伸幸 アキヤマ, ノブユキ
長岡技術科学大学 ナガオカ ギジュツ カガク ダイガク
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2002-2003
2004.7
Publication Date (W3CDTF)
2002
2003
Extent
57枚
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)