半導体ウエハ表面・内部のナノメータ不純物・結晶空洞自動計測装置の開発

Call No. (NDL): Y151-H14350217
Bibliographic ID of National Diet Library: 000007990934

Material type: 図書

Author: 秋山伸幸, 長岡技術科学大学 [著]

Publisher: [秋山伸幸]

Publication date: 2002-2003

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 57枚

NDC: -

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Note (General)：: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type: 図書
Title: 半導体ウエハ表面・内部のナノメータ不純物・結晶空洞自動計測装置の開発
Title Transcription: ハンドウタイウエハヒョウメンナイブノナノメータフジュンブツケッショウクウドウジドウケイソクソウチノカイハツ
Author/Editor: 秋山伸幸, 長岡技術科学大学 [著]
Author Heading: 秋山, 伸幸アキヤマ, ノブユキ
長岡技術科学大学ナガオカギジュツカガクダイガク
Publication, Distribution, etc.: [秋山伸幸]
Publication Date: 2002-2003
2004.7
Publication Date (W3CDTF): 2002
2003
Extent: 57枚
Additional Title: 研究種目基盤研究(B)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: ナノメータ不純物検出 / 結晶空洞検出 / 半導体ウエハ表面検査 / COP検出 / インライン自動検査装置ナノメータフジュンブツケンシュツ / ケッショウクウドウケンシュツ / ハンドウタイウエハヒョウメンケンサ / COP ケンシュツ / インラインジドウケンサソウチ
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 14350217
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H14350217
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007990934
http://id.ndl.go.jp/bib/000007990934
Bibliographic Record Category (NDL): 214