サブ10ナノメータ級チャネル多層化新構造MOSFET/SOIの研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: サブ10ナノメータ級チャネル多層化新構造MOSFET/SOIの研究
• タイトルよみ: サブ 10ナノメータキュウ チャネル タソウカ シンコウゾウ MOSFET SOI ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 酒井徹志, 東京工業大学 [著]
• 著者標目: 酒井, 徹志 サカイ, テツシ; 東京工業大学 トウキョウ コウギョウ ダイガク
• 出版事項: [酒井徹志]
• 出版年月日等: 2003-2004; 2005.12
• 出版年（W3CDTF）: 2003; 2004
• 数量: 1冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(A)
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: MOSFET / SiGe / HfON / ML-MOSFET / SBSI / フッ硝酸溶液 / SiGe横方向選択エッチング / PtSi MOSFET / SiGe / HfON / ML-MOSFET / SBSI / フッ ショウサン ヨウエキ / SiGe ヨコホウコウ センタク エッチング / PtSi
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 15206039
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H15206039
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008039172; http://id.ndl.go.jp/bib/000008039172
• 整理区分コード: 214