サブ10ナノメータ級チャネル多層化新構造MOSFET/SOIの研究

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Material Type: 図書
Title: サブ10ナノメータ級チャネル多層化新構造MOSFET/SOIの研究
Title Transcription: サブ 10ナノメータキュウチャネルタソウカシンコウゾウ MOSFET SOI ノケンキュウ
Author/Editor: 酒井徹志, 東京工業大学 [著]
Author Heading: 酒井, 徹志サカイ, テツシ
東京工業大学トウキョウコウギョウダイガク
Publication, Distribution, etc.: [酒井徹志]
Publication Date: 2003-2004
2005.12
Publication Date (W3CDTF): 2003
2004
Extent: 1冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(A)
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
Subject Heading: MOSFET / SiGe / HfON / ML-MOSFET / SBSI / フッ硝酸溶液 / SiGe横方向選択エッチング / PtSi MOSFET / SiGe / HfON / ML-MOSFET / SBSI / フッショウサンヨウエキ / SiGe ヨコホウコウセンタクエッチング / PtSi
NDLC: Y151
Note (General): 文部科学省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 15206039
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H15206039
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008039172
http://id.ndl.go.jp/bib/000008039172
Bibliographic Record Category (NDL): 214