プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大口径から大気圧・μプラズマまで : 第14回プラズマエレクトロニクス講習会

• 資料種別: 図書
• タイトル: プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大口径から大気圧・μプラズマまで : 第14回プラズマエレクトロニクス講習会
• タイトルよみ: プラズマ プロセス ソウチ ジッケン ノ ジッセンテキ セッケイ シュホウ : テイキアツ ダイコウケイ カラ タイキアツ ミュー プラズマ マデ : ダイ 14カイ プラズマ エレクトロニクス コウシュウカイ
• 著者・編者: 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
• 著者標目: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
• 出版事項: [東京] : 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
• 出版年月日等: 2003.9
• 出版年（W3CDTF）: 2003
• 数量: 92p
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: プラズマ--論文集 プラズマ ロンブンシュウ ( 00950982 )典拠
• NDC9版: 427.6 : 電磁気学
• NDLC: MC241
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 会期・会場: 2003年9月11日-12日 東洋大学白山キャンパススカイホール; JSAP catalog number: 032335; 奥付のタイトル: 第14回プラズマエレクトロニクス講習会テキスト
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: MC241-H23
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008060004; http://id.ndl.go.jp/bib/000008060004
• 全国書誌番号: 20970411
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 内容細目: 大気圧プラズマプロセスの可能性 / 岡崎幸子 著大気圧プラズマの生成と応用制御 / 小駒益弘 著ウエハーエッチングプラズマシステムの設計とプロセス構築 / 寒川誠二 著...

目次

目次

開催日：2003年9月11日(木)〜12日(金)

会場：東洋大学　白山キャンパス　スカイホール

1. 大気圧プラズマプロセスの可能性/ 1

2. 大気圧プラズマの生成と応用制御/ 6