プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大口径から大気圧・μプラズマまで : 第14回プラズマエレクトロニクス講習会

• Material Type: 図書
• Title: プラズマプロセス装置・実験の実践的設計手法 : 低気圧・大口径から大気圧・μプラズマまで : 第14回プラズマエレクトロニクス講習会
• Title Transcription: プラズマ プロセス ソウチ ジッケン ノ ジッセンテキ セッケイ シュホウ : テイキアツ ダイコウケイ カラ タイキアツ ミュー プラズマ マデ : ダイ 14カイ プラズマ エレクトロニクス コウシュウカイ
• Author/Editor: 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
• Author Heading: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: [東京] : 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
• Publication Date: 2003.9
• Publication Date (W3CDTF): 2003
• Extent: 92p
• Size: 26cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: プラズマ--論文集 プラズマ ロンブンシュウ ( 00950982 )Authorities
• NDC 9th ed.: 427.6 : Electricity and magnetism
• NDLC: MC241
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期・会場: 2003年9月11日-12日 東洋大学白山キャンパススカイホール; JSAP catalog number: 032335; 奥付のタイトル: 第14回プラズマエレクトロニクス講習会テキスト
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: MC241-H23
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008060004; http://id.ndl.go.jp/bib/000008060004
• National Bibliography No. (JPNO): 20970411
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Contents: 大気圧プラズマプロセスの可能性 / 岡崎幸子 著大気圧プラズマの生成と応用制御 / 小駒益弘 著ウエハーエッチングプラズマシステムの設計とプロセス構築 / 寒川誠二 著...

Table of Contents

目次

開催日：2003年9月11日(木)〜12日(金)

会場：東洋大学　白山キャンパス　スカイホール

1. 大気圧プラズマプロセスの可能性/ 1

2. 大気圧プラズマの生成と応用制御/ 6