プラズマの基礎と応用最前線 : ULSIからフォトニック,MEMS,ナノチューブ,プラズマイオン注入,環境まで : 第15回プラズマエレクトロニクス講習会

• 資料種別: 図書
• タイトル: プラズマの基礎と応用最前線 : ULSIからフォトニック,MEMS,ナノチューブ,プラズマイオン注入,環境まで : 第15回プラズマエレクトロニクス講習会
• タイトルよみ: プラズマ ノ キソ ト オウヨウ サイゼンセン : ULSI カラ フォトニック MEMS ナノチューブ プラズマ イオン チュウニュウ カンキョウ マデ : ダイ 15カイ プラズマ エレクトロニクス コウシュウカイ
• 著者・編者: 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
• 著者標目: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )典拠
• 出版事項: [東京] : 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
• 出版年月日等: 2004.10
• 出版年（W3CDTF）: 2004
• 数量: 131p
• 大きさ: 26cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: プラズマ--論文集 プラズマ ロンブンシュウ ( 00950982 )典拠
• NDC9版: 427.6 : 電磁気学
• NDLC: MC241
• 対象利用者: 一般
• 一般注記: 会期・会場: 2004年10月14日-15日 慶應義塾大学日吉キャンパス来往舎; JSAP catalog number: 042343; 奥付のタイトル: 第15回プラズマエレクトロニクス講習会テキスト
• 入手条件・定価: 3000円
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: MC241-H22
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008060010; http://id.ndl.go.jp/bib/000008060010
• 全国書誌番号: 20970410
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

• 内容細目: プラズマの生成と制御法 / 進藤春雄 著反応性プラズマ中の気相・表面反応 / 堀勝 著プラズマの計測・モニタリング手法 / 豊田浩孝 著...

目次

目次

開催日：2004年10月14日(木)〜15日(金)

会場：慶応義塾大学　日吉キャンパス　来往舎

1. プラズマの生成と制御法/ 1

2. 反応性プラズマ中の気相・表面反応/ 17