プラズマの基礎と応用最前線 : ULSIからフォトニック,MEMS,ナノチューブ,プラズマイオン注入,環境まで : 第15回プラズマエレクトロニクス講習会

• Material Type: 図書
• Title: プラズマの基礎と応用最前線 : ULSIからフォトニック,MEMS,ナノチューブ,プラズマイオン注入,環境まで : 第15回プラズマエレクトロニクス講習会
• Title Transcription: プラズマ ノ キソ ト オウヨウ サイゼンセン : ULSI カラ フォトニック MEMS ナノチューブ プラズマ イオン チュウニュウ カンキョウ マデ : ダイ 15カイ プラズマ エレクトロニクス コウシュウカイ
• Author/Editor: 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
• Author Heading: 応用物理学会 オウヨウ ブツリ ガッカイ ( 00281497 )Authorities
• Publication, Distribution, etc.: [東京] : 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
• Publication Date: 2004.10
• Publication Date (W3CDTF): 2004
• Extent: 131p
• Size: 26cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: プラズマ--論文集 プラズマ ロンブンシュウ ( 00950982 )Authorities
• NDC 9th ed.: 427.6 : Electricity and magnetism
• NDLC: MC241
• Target Audience: 一般
• Note (General): 会期・会場: 2004年10月14日-15日 慶應義塾大学日吉キャンパス来往舎; JSAP catalog number: 042343; 奥付のタイトル: 第15回プラズマエレクトロニクス講習会テキスト
• Price: 3000円
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: MC241-H22
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008060010; http://id.ndl.go.jp/bib/000008060010
• National Bibliography No. (JPNO): 20970410
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

• Contents: プラズマの生成と制御法 / 進藤春雄 著反応性プラズマ中の気相・表面反応 / 堀勝 著プラズマの計測・モニタリング手法 / 豊田浩孝 著...

Table of Contents

目次

開催日：2004年10月14日(木)〜15日(金)

会場：慶応義塾大学　日吉キャンパス　来往舎

1. プラズマの生成と制御法/ 1

2. 反応性プラズマ中の気相・表面反応/ 17