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博士論文

多重傾斜露光による3次元マイクロ構造体形成とマイクロ流体素子への応用

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多重傾斜露光による3次元マイクロ構造体形成とマイクロ流体素子への応用

国立国会図書館請求記号
UT51-2005-P103
国立国会図書館書誌ID
000008075101
資料種別
博士論文
著者
佐藤寛暢 [著]
出版者
[佐藤寛暢]
出版年
2005
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
早稲田大学,博士 (工学)
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書誌情報

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資料種別
博士論文
タイトルよみ
タジュウ ケイシャ ロコウ ニ ヨル 3ジゲン マイクロ コウゾウタイ ケイセイ ト マイクロ リュウタイ ソシ エノ オウヨウ
著者・編者
佐藤寛暢 [著]
著者標目
佐藤, 寛暢 サトウ, ヒロノブ
出版事項
出版年月日等
2005
出版年(W3CDTF)
2005
数量
1冊
並列タイトル等
Fabrication of 3-D microstructures using multi-angle inclined lithography and their microfluidic applications