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博士論文

多重傾斜露光による3次元マイクロ構造体形成とマイクロ流体素子への応用

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多重傾斜露光による3次元マイクロ構造体形成とマイクロ流体素子への応用

Call No. (NDL)
UT51-2005-P103
Bibliographic ID of National Diet Library
000008075101
Material type
博士論文
Author
佐藤寛暢 [著]
Publisher
[佐藤寛暢]
Publication date
2005
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
早稲田大学,博士 (工学)
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Note (General):

博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
タジュウ ケイシャ ロコウ ニ ヨル 3ジゲン マイクロ コウゾウタイ ケイセイ ト マイクロ リュウタイ ソシ エノ オウヨウ
Author/Editor
佐藤寛暢 [著]
Author Heading
佐藤, 寛暢 サトウ, ヒロノブ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
2005
Publication Date (W3CDTF)
2005
Extent
1冊
Alternative Title
Fabrication of 3-D microstructures using multi-angle inclined lithography and their microfluidic applications