露光時におけるウェハ熱変形の数値解析とウェハ冷却のための常温低圧ガスの伝熱特性

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 露光時におけるウェハ熱変形の数値解析とウェハ冷却のための常温低圧ガスの伝熱特性
• タイトルよみ: ロコウジ ニ オケル ウェハ ネツ ヘンケイ ノ スウチ カイセキ ト ウェハ レイキャク ノ タメノ ジョウオン テイアツ ガス ノ デンネツ トクセイ
• 著者・編者: 高橋聡志 [著]
• 著者標目: 高橋, 聡志 タカハシ, サトシ
• 出版事項: [高橋聡志]
• 出版年月日等: 2005
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 千葉大学
• 授与年月日: 平成17年9月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2005
• 報告番号: 甲第3049号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2006-A37
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008121501; http://id.ndl.go.jp/bib/000008121501
• 整理区分コード: 213