露光時におけるウェハ熱変形の数値解析とウェハ冷却のための常温低圧ガスの伝熱特性

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Material Type: 博士論文
Title: 露光時におけるウェハ熱変形の数値解析とウェハ冷却のための常温低圧ガスの伝熱特性
Title Transcription: ロコウジニオケルウェハネツヘンケイノスウチカイセキトウェハレイキャクノタメノジョウオンテイアツガスノデンネツトクセイ
Author/Editor: 高橋聡志 [著]
Author Heading: 高橋, 聡志タカハシ, サトシ
Publication, Distribution, etc.: [高橋聡志]
Publication Date: 2005
Publication Date (W3CDTF): 2005
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 千葉大学
Date Granted: 平成17年9月30日
Date Granted (W3CDTF): 2005
Dissertation Number: 甲第3049号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-A37
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008121501
http://id.ndl.go.jp/bib/000008121501
Bibliographic Record Category (NDL): 213