超純水・高速せん断流による基板洗浄技術に関する研究

• 資料種別: 博士論文
• タイトル: 超純水・高速せん断流による基板洗浄技術に関する研究
• タイトルよみ: チョウジュンスイ コウソク センダンリュウ ニ ヨル キバン センジョウ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 森田健一 [著]
• 著者標目: 森田, 健一 モリタ, ケンイチ
• 出版事項: [森田健一]
• 出版年月日等: 2005
• 出版年（W3CDTF）: 2005
• 数量: 1冊
• 授与機関名: 大阪大学
• 授与年月日: 平成17年9月30日
• 授与年月日（W3CDTF）: 2005
• 報告番号: 甲第10702号
• 学位: 博士 (工学)
• 学位論文注記: 博士論文
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: UT51
• 一般注記: 博士論文
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: UT51-2006-B567
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008132705; http://id.ndl.go.jp/bib/000008132705
• 整理区分コード: 213