超純水・高速せん断流による基板洗浄技術に関する研究

超純水・高速せん断流による基板洗浄技術に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2006-B567
Bibliographic ID of National Diet Library: 000008132705

Material type: 博士論文

Author: 森田健一 [著]

Publisher: [森田健一]

Publication date: 2005

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 大阪大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 超純水・高速せん断流による基板洗浄技術に関する研究
Title Transcription: チョウジュンスイコウソクセンダンリュウニヨルキバンセンジョウギジュツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 森田健一 [著]
Author Heading: 森田, 健一モリタ, ケンイチ
Publication, Distribution, etc.: [森田健一]
Publication Date: 2005
Publication Date (W3CDTF): 2005
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成17年9月30日
Date Granted (W3CDTF): 2005
Dissertation Number: 甲第10702号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2006-B567
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000008132705
http://id.ndl.go.jp/bib/000008132705
Bibliographic Record Category (NDL): 213