真空機器・装置技術大全. 2006

• 資料種別: 図書
• タイトル: 真空機器・装置技術大全
• タイトルよみ: シンクウ キキ ソウチ ギジュツ タイゼン
• 巻次・部編番号: 2006
• シリーズタイトル: Electronic journal別冊
• 出版事項: 東京 : 電子ジャーナル
• 出版年月日等: 2006.3
• 出版年（W3CDTF）: 2006
• 数量: 446p
• 大きさ: 28cm
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 真空ポンプ シンクウポンプ ( 00571072 )典拠; 化学機械 カガクキカイ ( 00564420 )典拠
• NDC9版: 534.93 : 流体機械．流体工学
• NDLC: NB126
• NDC（参考図書紹介）: 534.93
• 対象利用者: 一般
• 入手条件・定価: 49000円 (税込)
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: NB126-H3
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000008144435; http://id.ndl.go.jp/bib/000008144435
• 全国書誌番号: 21013967
• 目録規則: 日本目録規則1987年版改訂版
• 整理区分コード: 111

目次

目次

第1編 真空機器・装置総論

第1章 真空技術・機器・装置の現状と動向/ 22

第2章 真空機器・装置の応用

第1節 半導体・FPD・電子部品産業と真空機器・装置/ 27