真空機器・装置技術大全. 2006

• Material Type: 図書
• Title: 真空機器・装置技術大全
• Title Transcription: シンクウ キキ ソウチ ギジュツ タイゼン
• Volume: 2006
• Series Title: Electronic journal別冊
• Publication, Distribution, etc.: 東京 : 電子ジャーナル
• Publication Date: 2006.3
• Publication Date (W3CDTF): 2006
• Extent: 446p
• Size: 28cm
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• Subject Heading: 真空ポンプ シンクウポンプ ( 00571072 )Authorities; 化学機械 カガクキカイ ( 00564420 )Authorities
• NDC 9th ed.: 534.93 : Hydraulic and pneumatic machinery
• NDLC: NB126
• NDC (Introduction of Reference Books): 534.93
• Target Audience: 一般
• Price: 49000円 (税込)
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: NB126-H3
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000008144435; http://id.ndl.go.jp/bib/000008144435
• National Bibliography No. (JPNO): 21013967
• Cataloging Rule: Nippon Cataloguing Rules 1987 Revised Edition
• Bibliographic Record Category (NDL): 111

Table of Contents

目次

第1編 真空機器・装置総論

第1章 真空技術・機器・装置の現状と動向/ 22

第2章 真空機器・装置の応用

第1節 半導体・FPD・電子部品産業と真空機器・装置/ 27